Micro-refractive optical elements fabricated by multi-exposure lithography for laser speckle reduction

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

Three-dimensional diffractive micro- and nano-optical elements fabricated by electron-beam lithography

The broad development of the microand nano-technologies in the past few years increased the need of techniques capable of fabricating sub-micron structures with arbitrary surface profiles. Out of the several fabrication approaches (HEBS lithography, laser writing, etc.) the electron beam writing stands out as the one capable of the highest resolution, superior alignment accuracy and very small ...

متن کامل

Micro gas bearings fabricated by deep X-ray lithography

Micro bearing systems for Micro Electromechanical Systems (MEMS) have drawn attention for several decades as critical components for micro rotating machinery. Ideally, frictionless bearings are needed, and in practice, micro gas bearings approach the ideal. Typically, bearings function as a separate component, assembled onto sliding counterparts. However, in micro scale devices, assembly proced...

متن کامل

Refractive and diffractive properties of planar micro-optical elements.

The refractive and the diffractive properties of planar micro-optical elements are investigated. The transition between purely refractive and purely diffractive planar microlenses is numerically simulated for the example of differently designed phase-matched Fresnel elements. Results obtained from numerical simulations and experiments show that the refractive and diffractive types exhibit a dis...

متن کامل

control of the optical properties of nanoparticles by laser fields

در این پایان نامه، درهمتنیدگی بین یک سیستم نقطه کوانتومی دوگانه(مولکول نقطه کوانتومی) و میدان مورد مطالعه قرار گرفته است. از آنتروپی ون نیومن به عنوان ابزاری برای بررسی درهمتنیدگی بین اتم و میدان استفاده شده و تاثیر پارامترهای مختلف، نظیر تونل زنی(که توسط تغییر ولتاژ ایجاد می شود)، شدت میدان و نسبت دو گسیل خودبخودی بر رفتار درجه درهمتنیدگی سیستم بررسی شده اشت.با تغییر هر یک از این پارامترها، در...

15 صفحه اول

Micro-optical elements fabricated by metal-transparent-metallic-oxides grayscale photomasks.

One-step gray-tone lithography is the most effective approach to making three-dimensional (3D) micro-optical elements (MOEs). Metal-transparent-metallic-oxide (MTMO) grayscale masks are novel and quite cost effective. In this paper, through the successful fabrication of 3D SiO(2) MOEs by gray-tone lithography and reactive ion etching, we thoroughly investigate the practical technique needs of M...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Optics Express

سال: 2020

ISSN: 1094-4087

DOI: 10.1364/oe.405622